【招待講演】薄膜応力による微小構造の形状制御と触覚センサ応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-C-p1-6

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 寒川 雅之(新潟大学)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー構造|たわみ形状|薄膜応力|ひずみゲージ

要約(日本語): 超少子高齢化社会やwithコロナ時代を迎え、オンラインコミュニケーションや健康モニタリング、遠隔医療などの必要性がさらに高まっているが、これらの技術をさらに進展させるためには触覚のセンシングと再現技術の実用化が重要である。我々はMEMSプロセスにより形成した微小片持ちはり(カンチレバー)構造を弾性樹脂で封止した触覚センサチップを提案している。カンチレバー構造は傾斜形状をもたせ封止樹脂の変形に追随しやすくすることで感度を高めているが、その形状はカンチレバー表面に成膜したCrなどの薄膜の応力を用いて制御している。本講演では薄膜の材料や膜厚・面積、カンチレバーの平面形状と傾斜量および感度の関係について紹介する。

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