【招待講演】共振振動による圧電MEMS触覚デバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-C-p1-7

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 神田 健介(兵庫県立大学)

キーワード: MEMS|触覚デバイス圧電薄膜

要約(日本語): 低消費電力を指向した,圧電薄膜をMEMSに融合させた触覚刺激素子を開発している。発生力の小さなMEMSによって触覚知覚をヒトに与えるため,共振を利用した素子構造となっている。シリコンベースのバッチプロセスを満たしつつ,人が触れても耐えられるようなロバスト性を得るため,ポリイミドやエポキシ樹脂とPZT薄膜を集積化させた構造を提案した。ヒトと素子との接触を含む共振特性のモデル化や変位センサの集積化,低電圧化の取り組みについて紹介する。

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