PLD法による大面積YBCO薄膜に向けての検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-D-a1-3

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 石塚 敬太(愛知工業大学)，田岡 紀之(愛知工業大学)，清家 善之(愛知工業大学)，森 竜雄(愛知工業大学)，一野 祐亮(愛知工業大学)

キーワード: 超伝導材料|YBCO|エピタキシャル成長|薄膜|PLD|Nd:YAGレーザー

要約(日本語): YBCO超伝導線材は安価な液体窒素温度(77.3 K)で超伝導転移するため様々な電力機器への応用が期待されている。YBCO線材製造方法の主流はPLD法であるが、大面積の作製が難しいという問題がある。PLD法による成膜の際に、蒸発種はターゲット表面法線方向に飛散し、ターゲット法線から離れるほどエピタキシャル薄膜の化学組成がターゲット組成からずれる問題がある。本研究では、PLD法におけるターゲット法線を意図的に傾けることでより広い範囲で組成や膜厚を均一にすることで大面積成膜を可能にする技術開発を目的に、ターゲットの傾きに対するYBCO薄膜の組成分布や超伝導転移温度の分布などを検討した。

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