大気圧空気中での均一バリア放電による表面電荷密度分布の時間変化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-D-p2-5

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 渡部 佳月(金沢工業大学)，大澤 直樹(金沢工業大学)

キーワード: 均一バリア放電|大気圧タウンゼント放電|誘電体|表面電荷密度分布

要約(日本語): 誘電体バリア放電装置で発生する大気圧タウンゼント放電(APTD)は均一なプラズマ処理が可能であり,表面処理への応用が期待されている。これまでに,誘電体表面に蓄積される電荷量が閾値を超えると,空気中でもAPTDを発生できることがわかった。本研究では,表面電荷スキャンシステムより得られたAPTD発生前後の誘電体表面電荷密度分布からAPTDの蓄積電荷量を求め,放電電流波形から求めた移動電荷量と比較した。その結果,分布から求めた電荷量と放電電流波形から求めた電荷量が一致したことから,APTDの移動電荷量と誘電体表面に蓄積される電荷量は等しくなることを確認した。また,この表面電荷スキャンシステムを用いて,APTD発生中の表面電荷密度分布の時間変化を検討した。

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