パルスアーク放電によりITO透明導電性基板から分離された金属微粒子の回収

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-P1-C-2

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 土居 拓永(香川高等専門学校)，正箱 信一郎(香川高等専門学校)，山下 智彦(香川高等専門学校)，大石 将太(熊本大学)，佐久川 貴志(熊本大学)

キーワード: パルス放電|金属剥離|コロナ放電|電気集塵|ITO透明導電性基板

要約(日本語): 近年,使用済み電気電子機器などに含まれるレアメタルやプラスチックのリサイクル需要は高まりつつある.そこで,液晶ディスプレイなどに使用されているITO透明導電性基板の新たなリサイクル法の開発を目指した研究を実施している.本研究では,PET基板にITO膜が形成された試料にパルス放電を適用することでPET基板からITOを剥離し,コロナ放電による電気集塵を用いて飛散した微粒子の回収を試みた.回収された微粒子を走査電子顕微鏡(mini-SEM)により観察し,元素分析を行なった結果,インジウムの元素スペクトルが検出された.以上より,本研究の方法を適用することでITO透明導電性基板からのインジウム粒子の回収が可能であることが明らかとなった.

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