アルミニウム基板への窒素および炭素イオンビーム照射による機械的特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-P1-D-2

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 山﨑 蒼太(工学院大学)，鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: イオンビーム照射|機械的特性|硬質材料|アルミニウム

要約(日本語): ダイヤモンドに匹敵する硬度を持つ物質として,1989年にカリフォルニア大学のLiuとCohenによりその存在が提唱され注目を集めたβ-C?N?が有名である。理論上の体積弾性率は427GPaと算出され,ダイヤモンドの体積弾性率442GPaに迫る値である。本研究ではAl基板に対して窒素と炭素のイオンビームを別々に照射することで基板内部での炭窒化を期待し炭素/窒素が3/4となる照射量を選択した。また,先行研究よりAl基板に存在する不動態層が注入効果に影響を及ぼしている可能性が示唆されていたためNaOHによるアルカリエッチング処理を行った。摩擦試験及び硬さ試験による機械的特性の変化を測定した。イオンビームの照射時間による特性の変化が確認された。

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