印刷用スタンプの表面改質によるIGZO膜転写特性の向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-P1-D-4

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 櫻田 祥也(芝浦工業大学)，吉松 宏晋(芝浦工業大学)，鬼崎 雄大(芝浦工業大学)，Kunpisit Kosumsupamala(芝浦工業大学)，関 宏範(芝浦工業大学)，Nitipon Puttaraksa(芝浦工業大学)，西川 宏之(芝浦工業大学)

キーワード: IGZO|マイクロコンタクトプリンティング|PDMSスタンプ|薄膜トランジスタ|酸化物半導体|集束陽子線描画

要約(日本語): IoTデバイスとしてa-IGZO-TFTは高い電子移動度、低いリーク電流の特性を有し注目されている。デバイス作製の簡易化と低コスト化の観点から印刷による薄膜トランジスタの作製方法としてマイクロコンタクトプリンティング(μCP)が注目されている。_x000D_ 本研究の課題は、μCPにおいてスタンプを用いた基板へのIGZO膜の転写である。ポリジメチルシロキサン(PDMS)製スタンプの表面改質による濡れ性の改善および集束陽子線描画技術(PBW)によるスタンプのパターン作製を行った。これらの改質条件およびパターンサイズに依存した転写性を評価しTFTの作製に適用する。

PDFファイルサイズ: 477 Kバイト