平板型並列MCS放電を用いたオゾン生成特性の測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-P2-A-2

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 張 子陽(埼玉大学)，前山 光明(埼玉大学)，稲田 優貴(埼玉大学)

キーワード: MCS放電|オゾン|大気圧放電|ガス処理|水処理|MHCD

要約(日本語): 本論文では、MHCD(Microhollow Cathode Discharge)の放電時間がオゾン生成量に与える影響について述べる。本研究に用いたMHCD発生装置の特徴として放電電極と同一の基板上にIGBTを実装することで高電圧を高速にスイッチングして矩形波信号を印加することができる。オゾンを生成する過程では、高電圧が大きいほど、電子のエネルギーが高く、オゾンの生成効率が高くなる。また、MHCD放電時間が短いと、オゾンの分解が減少し、温度とオゾンの分解は正の相関関係にあることが知られている。実際に平板型装置のオゾン濃度を測定した後、以前の実験と比較してより多くの濃度のオゾンが得られた

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