圧力測定を目的としたプラズモニックデバイスの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-P2-B-1

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 阿久澤 賢(近畿大学)，山下 あゆみ(近畿大学)，井上 翔太(近畿大学)，松谷 貴臣(近畿大学)，村井 健介(産業技術総合研究所)

キーワード: プラズモン|センサ|真空蒸着|分光器

要約(日本語): 本研究では、電磁ノイズによる影響が皆無である光学式圧力センサとして、誘電体(I)を金属薄膜(M)で挟んだMIM構造型プラズモニック圧力センサデバイスの開発を行った。ここでは金属膜には銀を、絶縁膜にはシリコーンをそれぞれ利用した。_x000D_ 作製したデバイスに白色光を照射し、反射スペクトルを測定した結果、プラズモンによる特定波長の吸収ディップの存在が確認できた。さらにデバイスに圧力を加えることで、その圧力に応じた吸収波長の変化を確認した。_x000D_ 圧力に対する吸収波長の遷移量はデバイス内部のシリコーン膜厚の変化量に依存していることが明らかとなった。この結果から、開発したデバイスは圧力センサとしての応用が可能であることが分かった。

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