横磁界印加における陰極材料が及ぼす真空アーク陰極点の移動速度

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7-P2-B-4

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 石原 のぞみ(東京都市大学)，鈴木 裕斗(東京都市大学)，西郷 謙伸(東京都市大学)，石川 航大(東京都市大学)，齋藤 漱吾(東京都市大学)，草刈 雄己(東京都市大学)，高木 真宏(東京都市大学)，鈴木 祐揮(東京都市大学)，根本 雄介(東京工業高等専門学校)　鈴木 憲吏(東京都市大学)

キーワード: 真空アーク|陰極点|横磁界|移動速度|逆行運動

要約(日本語): 真空アーク陰極点は,高速かつ二次廃棄物の発生の少ない酸化膜処理方法として,期待されている。しかし,陰極点は不規則に動く特徴があり,陰極点が移動する要因は解明されていない。このため,効率の良い酸化膜処理を行うため,陰極点の移動制御を行う必要があり,磁界を用いた制御方法が提案されている。本研究では,横磁界を印加させ,材料変化時の陰極点のアーク姿態の撮影を行った。具体的には,銅,チタン,SUS304の陰極を用い,陰極点を発弧させ,ハイスピードビデオカメラを用いて撮影を行った。また,撮影された画像から,移動速度の算出を行った。

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