誘電泳動現象を利用したマイクロプラスチック捕集デバイスへのドライフィルムレジストの適用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8-B-a2-4

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 関 宏範(芝浦工業大学)，松本 悠佑(芝浦工業大学)，NITIPON PUTTARAKSA(芝浦工業大学)，八木 一平(芝浦工業大学)，内田 諭(芝浦工業大学)，石井 保行(量子科学技術研究開発機構)，西川 宏之(芝浦工業大学)

キーワード: 誘電泳動|マイクロプラスチック|捕集|収束陽子線描画|水環境|ドライフィルムレジスト

要約(日本語): 近年、マイクロプラスチックによる海洋汚染が懸念されており、捕集の困難な350μm以下の微粒子を捕集するためのデバイスの1つとして集束陽子線描画技術(PBW)を用いて作製した誘電泳動用ピットがある。陽子線の直進性を利用したPBWを用いて作製したピットは精密かつ高深度であるため、この近傍には高い電界勾配が誘起され正の誘電泳動力によりピット内に微粒子が捕集される。_x000D_ 今までの研究において液体のPMMAをスピンコート法によりデバイスを作製してきたが、本研究では均一な膜厚で大型化しやすいドライフィルムレジストを用いて誘電泳動の原理に基づくマイクロプラスチック捕集デバイスを作製し、スーパーマイクロプラスチックに見立てた数μmのポリスチレン粒子の捕集効果を調べる。

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