振り子の熱雑音を応用した圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8-C-a1-2

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 高木 將登(日本航空電子工業)，松尾 幸祐(日本航空電子工業)，高橋 尋之(日本航空電子工業)，吉良 敦史(日本航空電子工業)

キーワード: 振り子|熱雑音真空計

要約(日本語): 単純な振り子の変位を静電容量方式にて検出するセンサにおいては、変位検出の感度を考慮し、振り子と電極間の距離を小さくする必要がある。このようなセンサ構造においては、気体分子との衝突頻度が高くなることでエネルギーの散逸が生じ(Squeeze Film Damping効果)、結果としてこれによる熱雑音が支配的になる。したがって、振り子の熱雑音を計測することで、粘性真空計として取扱うことが可能となる。本発表では、振り子構造の熱雑音を静電容量方式にて計測する手法の検討に加え、粘性真空計としての検討を行った結果について報告する。

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