大気中マイクロギャップ放電における電極材料の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9-C-a1-2

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 三ツ橋 昂起(兵庫県立大学)，比田 悠斗(兵庫県立大学)，岡田 翔(兵庫県立大学)，上野 秀樹(兵庫県立大学)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|仕事関数|パルス電圧

要約(日本語): 近年、微細加工技術の発達により、素子の微細化がマイクロスケール以下まで進んでおり、静電気放電などのサージが問題視されている。そのため、マイクロギャップでの放電現象とそのメカニズムの解明は重要である。しかし、マイクロギャップでの放電現象は未解明な点が多く、放電発生・進展メカニズムは必ずしも明確にはなっていない。また、マイクロギャップにおいて、紫外線や放射線等による初期電子の存在確率は低く、電子の平均自由行程も短いため、電子供給源が重要となる。その供給源の一つとして、電極からの電界電子放出が挙げられる。_x000D_ そこで、マイクロギャップにおいて、電極に用いている金属材料を変化させたときの放電特性・放電機構について調査した。

PDFファイルサイズ: 403 Kバイト