マイクロギャップ放電における印加電圧立ち上がり時間依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9-C-a1-3

グループ名: 【A】令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2023/08/24

著者名: 比田 悠斗(兵庫県立大学)，三ツ橋 昂起(兵庫県立大学)，岡田 翔(兵庫県立大学)，上野 秀樹(兵庫県立大学)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|パルス電圧|静電気放電|電圧立ち上がり時間|放電遅れ

要約(日本語): 近年の半導体微細化により,ESD(静電気放電)による機器内部の故障が問題とされている.そこで,MEMSなどのデバイスの絶縁設計・絶縁信頼性確保やマイクロギャップ放電を応用したサージ保護デバイスの設計の点から,マイクロギャップでの放電現象の解明は重要である.しかし,大気圧中のマイクロギャップでは初期電子の存在確率は低く,電子の平均自由工程も短いため,放電発生・進展メカニズムは不明瞭な点が多い.また,これまでの報告ではサージなどでみられる急峻な立ち上がり時間を有するパルス電圧を印加した報告は特に少ない.そこで,マイクロギャップ放電における印加電圧の立ち上がり時間(<100ns)の影響を調べた.

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