【招待講演】有機材料薄膜の低温高スループットパターン形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-A-a1-6

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 山内 博(東京電機大学), 田所 貴志(東京電機大学)

キーワード: 有機半導体|パターン|FET|センサ

要約(日本語): 有機機能性材料は柔軟性、軽量、耐衝撃性に優れることからエレクトロニクスデバイスとして注目されている。特にその製造プロセスは有機材料の溶液化が容易であることから低コストであるウェットプロセスが適用可能である。また、無機半導体のような高温プロセスやプラズマプロセスを避けることができるため、基板へのストレスが小さい。そのため物理的にフレキシブルな低耐熱基板への応用が期待されるが、一方で回路形成のためにはパターニングが必要となる。本研究では、有機材料のパターニングプロセスとして静電塗布法により作製した有機トランジスタと、マイクロコンタクト法によりパターン成膜した歪みセンサについて報告する。

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