高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電プラズマを用いて成膜したDLC膜の機械特性の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-C-a1-1

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 玉越 順也(兵庫県立大学), 北口 蓮(兵庫県立大学), 大里 辰希(兵庫県立大学), 菊池 祐介(兵庫県立大学)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|高繰り返しナノ秒パルスグロー放電プラズマ|高速成膜

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は高硬度や低摩擦性など優れた特性を持ち,高速成膜技術を確立して成膜コストを低減することで,より幅広い分野への適用が期待されている。本講演では,高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電プラズマを用いてDLCをSi基板に成膜した結果を報告する。また、切削工具などとして用いられるSKH51基板にDLC膜を成膜した結果について報告する。実験ではプロセスガス圧力0.36kPa, 電源周波数600kHzとし,基板温度約140℃～160℃にてプラズマ照射を行う。成膜したDLC膜の機械特性について評価を行い、その結果を報告予定である。

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