原料同期間歇供給型タンデム変調誘導熱プラズマによるSi/SiOxナノ材料生成におけるコイル電流の変調周期の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-C-a1-3

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

タイトル：原料同期間歇供給型タンデム変調誘導熱プラズマによるSi/SiO_xナノ材料生成におけるコイル電流の変調周期の影響

著者名: 岡野 里桜(金沢大学), 石之腰 昂弥(金沢大学), 田中 伶郎(金沢大学), 田中 康規(金沢大学), 中野 祐介(金沢大学), 石島 達夫(金沢大学), 末安 志織(日清製粉), 渡邉 周(日清製粉), 中村 圭太郎(日清製粉)

キーワード: タンデム型変調熱プラズマ|ナノ粒子/ナノワイヤ生成|原料間歇供給

要約(日本語): タンデム型変調誘導熱プラズマにおけるコイル電流の変調周期を変更した場合のSi/SiO_xナノ材料の生成実験を行った.生成材料に対するFE-SEM分析の結果,生成材料はナノワイヤ化しかつ変調周期を長くすることでワイヤの直径が小さく,さらに直径分布のばらつきが抑制されることが明らかとなった.

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