同軸プラズマガンによるアルミニウム成膜とプラズマ観測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-C-a1-4

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 五木田 太一(日本大学), 小林 大地(日本大学), 相良 拓也(日本大学), 胡桃 聡(日本大学), 浅井 朋彦(日本大学), 松田 健一(日本大学), 鈴木 薫(日本大学)

キーワード: 放電|プラズマ|レーザ|光計測|成膜|アルミニウム

要約(日本語): 同軸プラズマガンは数十kA以上の大電流パルスにより、高融点の電極であってもイオン化できる。また、自己誘起磁場と半径方向電流による電磁力で基板に打ち込むことが可能である。この成膜方法は任意のタイミングで任意の金属をスパッタリングすることができるため、複数の融点の異なる金属電極を用いた多門同軸プラズマガンによる同時的な合金化や時間差照射による傾斜組成の成膜などが期待できる。今回は低融点で比較的プラズマ化させやすいアルミニウムをターゲットとして放電電圧や回数の条件を変化させてシリコン基板上に堆積させた。また、発生したプラズマ塊をレーザ測定法等によりプラズマの観測を行った結果について報告する。

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