誘導結合プラズマにおける共鳴磁界域体積と電子加熱の励磁コイル間隔依存性解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-C-a2-1

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 山北 瑛伍(北海道大学), 岡崎 凌大(北海道大学), 菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界設計

要約(日本語): 対向発散磁界下で駆動する誘導結合プラズマは、分界面の電子閉じ込め効果を変調に用いることで材料処理の際の基板損傷低減といった機能性が期待される。材料処理の微細化に向けた低気圧駆動には磁界下のプラズマ維持が課題であり、本研究では効率的な電子加熱のための条件を探究している。先行研究では駆動周波数を従来の2～3倍にすると共鳴磁界域での部分共鳴による電子加熱の増大が見られた。装置と電磁界の基本形状を踏襲しつつ2つの励磁コイルの間隔を増減し磁界強度分布を変えて共鳴磁界域の体積と同領域における電子加熱の変化を計算機解析した結果、共鳴磁界域体積と電子加熱は相応に連動して増減し両者が共に最大となるコイル間隔があった。

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