対向発散磁界下誘導結合プラズマ中部分共鳴の識別と適する条件についての単電子運動シミュレーションによる検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-C-a2-2

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 村中 伶羽(北海道大学), 菅原 菅原(北海道大学)

キーワード: 誘導結合プラズマ|対向発散磁界|部分共鳴|粒子モデルシュミレーション|電子加熱|駆動周波数

要約(日本語): 材料処理用誘導結合プラズマの低気圧における密度維持等のため磁界による閉じ込めと電子加熱機構として有効と見込まれる部分共鳴(一時的電子サイクロトロン共鳴)の両立を目指し、単電子運動の観察から部分共鳴の識別と発現に適する条件の模索を複数の観点から多角的に行った。まず部分共鳴発生時に電子加速の一定時間以上の継続が観察されたため、電子加速継続性の指標を設け部分共鳴の識別を試みた。次に電子加熱量が増加する要因として磁界に対する電子の運動方向と位置の関連が示唆されたため、関連諸量と部分共鳴発生の関係性を調べた。最後に高周波駆動時に部分共鳴がプラズマ維持に有利に働く現象が確認できたため、高周波駆動時の部分共鳴の観察を行った。

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