誘導結合磁化プラズマの電子エネルギー利得・電子流位相分解観察 ー励磁コイル電流比変化による電子閉込め・電子加熱領域の制御ー

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-C-a2-3

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 岡崎 凌大(北海道大学), 菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界設計

要約(日本語): 対向発散磁界下誘導結合プラズマは分界面が閉込め効果を有し,共鳴域では電子エネルギー利得Gが高まる部分共鳴現象が観察される。上下励磁コイルの電流比を変えると分界面が湾曲して高電子数密度領域が狭まり共鳴域はアンテナ付近の高電界域に近づくためより高いGが期待できる。Gと円筒容器径方向・軸方向の電子平均速度の電界応答を観察し,コイル電流比変化時でも電子加熱機構が不変かを確認した。電界前後各半周期でGの最大値が異なる非対称性,半周期毎に高G域が強磁界域から弱磁界域へと移ろう様子,分界面上部の電子流の向きが半周期毎に強磁界側と弱磁界側へ交番する様子が共通し,E×Bドリフトが非対称性の主要因と考えられる。

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