ZnO上の沿面マイクロギャップ放電における極性効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-F-a1-1

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 岡本 昂大(兵庫県立大学), 岡田 翔(兵庫県立大学), 上野 秀樹(兵庫県立大学)

キーワード: Micrometer-scale gap|Dielectric breakdown|Pulse voltage|Electro static discharge|Backside electrode|Zinc oxide

要約(日本語): 近年、微細化技術の発展に伴い、静電気放電 (ESD)により外部から電流が流れることで、機器が損傷する原因となる。機器の損傷防止のために用いられている ESD保護デバイスは、動作の安定が目標となっている。そこで、電極を配置する基板として用いられる固体誘電体に酸化亜鉛セラミックス(ZnO)を使用した。ZnOは電圧-電流の非線形特性により動作電圧が安定すると考えられる。しかし、基板の固体誘電体ZnOを用いた時の知見が少ないため、本研究では基板の固体誘電体にZnOとガラスを用いて数10 μmのギャップにパルス電圧を印加した際の放電特性を調査した。実験では正極、負極性のパルス電圧を印加し絶縁破壊した際の極性効果を調査するために, ZnOとガラスの放電特性を比較検討した.

PDFファイルサイズ: 556 Kバイト