SnドープBaTiO3鉛フリー超音波振動子の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-P1-21

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 三谷 隆貴(近畿大学), 松谷 貴臣(近畿大学), 奥田 聖哉(KJTD)

キーワード: 超音波振動子|鉛フリー|セラミックス|XRD|SEM|

要約(日本語): 超音波振動子の主流であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の代替材料の開発を目的として、ペロブスカイト構造かつ強誘電体の材料であるチタン酸バリウム(BTO)に着目し、不純物としてSnをドープした鉛フリー超音波振動子の開発を試みた。原材料粉末の成分比および焼結回数を変化させ作製した各試料を、粉末X線回折装置(XRD)により結晶構造解析を行い、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて結晶表面を評価した。結果として、焼結回数を増加させることで粒子間の合成、結合が促進された。これは粒子に加わる熱エネルギーの増加により原子の移動が活発になり、合成の進行やネックの形成、成長に寄与したのではないかと考えられる。

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