MOD法によりガラス基板上へ成膜したVO2薄膜のZrO2バッファ層を用いた可視光透明性向上効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-P1-30

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 桑山 智大(大阪工業大学), 扶川 泰斗(日本アビオニクス), 廣芝 伸哉(大阪工業大学), 小池 一歩(大阪工業大学), 和田 英男(大阪工業大学)

キーワード: 有機金属分解法|二酸化バナジウム|スマートウィンドウ|相転移|サーモクロミック|調光率

要約(日本語): 二酸化バナジウム(VO2)は、温度上昇に伴う相転移により可視光透過性を維持しつつ、近赤外線透過率が顕著に減少する赤外線サーモクロミック材料である。しかしながら、サーモクロミックガラスへの応用のためには、相転移温度を環境温度まで低温化すると同時に高い可視光透過性と日射透過率変化が要求されている。本研究では、有機金属分解法(MOD法)を用いてガラス基板にZrO2バッファ層を形成してVO2薄膜を成膜した。その結果、化学量論的組成のVO2薄膜を耐熱温度の低いガラス基板上へ低温成膜することに成功した。また、カチオン元素のNbを添加することで、日射透過率変化と可視光透過率を保ちつつ、相転移温度を50℃以下に低温化した。

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