フッ素樹脂の接着力強化に適した大気圧プラズマ処理条件の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-P1-4

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 白井 晶都(東京工業大学), 櫻田 尚月(東京工業大学), 大澤 泰樹(東京工業大学), 八井田 朱音(東京工業大学), 山﨑 顕一(東京工業大学), 沖野 晃俊(東京工業大学)

キーワード: Atmospheric Plasma|Fluoropolymers|Hydrophilization|Adhesion Improvement|Multigas Plasma|

要約(日本語): フッ素樹脂は高周波回路基板の材料などで注目されているが,化学的に安定なため他の物質との接着が難しい。本研究では,大気圧低温プラズマ処理によるフッ素樹脂の接着力強化を図った。_x000D_ 実験では,我々の研究室で開発したマルチガスプラズマジェットに3 SLPMのアルゴン,二酸化炭素,窒素,酸素を導入し,電極間に9 kV,16 kHzの電圧を印加してプラズマを生成した。プラズマ装置を1 mm/sで走査し,処理対象であるポリテトラフルオロエチレンに対して1 mmの距離から照射した。_x000D_ ポリイミドテープとの接着力を剥離試験によって測定したところ,酸素プラズマ処理によって未処理の2.7倍向上した。_x000D_ 発表では、接触角との相関や酸素プラズマへの水素添加による処理効果の変化、処理効果の経時変化についても報告する。

PDFファイルサイズ: 580 Kバイト