平板電極を用いた2次元的並列なMCS放電に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-P1-8

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 浜坂 大輔(電気学会), 前山 光明(電気学会), 稲田 優貴(電気学会)

キーワード: MCS放電|MHCD|オゾン生成|大気圧放電

要約(日本語): 現在、真空装置を必要としない大気圧プラズマの1つであるMCS放電が注目されている。本研究では、MCS放電の大容積化によるオゾン生成量の増加と放電装置の簡易化を目指して、第三電極に平板型導電性ガラスを用いたMCS放電を開発し、その放電特性を調査した。はじめに、電極間距離を短縮し、MHCDによる電子供給量、電流制限抵抗を増加させることで、大気圧下で平板電極を用いたMCS放電の発生に成功した。そして、従来の錫メッキ線電極と比べ、放電電流の増加を確認した。また、4並列のMCS放電を放電電流値から確認した。並列数を増加する際に平板電極を用いることで、従来の円筒型装置に比べ、装置を簡易化することが可能と考えられる。

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