テラヘルツ波分光法を用いた高精度湿度測定に関する基礎検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-P2-17

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 谷野 麻糸(日本大学), 大谷 昭仁(日本大学)

キーワード: テラヘルツ波|高精度湿度計測

要約(日本語): 近年、湿度はウイルス感染症との関係や、電池製造工程での影響、医薬品製剤における結晶状態の多形転移への安定性管理などで非常に重要視されている。しかし、市販されている湿度計は極めて精度が低く、一般の湿度計の精度は約±5%、高精度な湿度計であっても約±2%であり、対象温度が測定範囲外や低湿度時には誤差が大きいため精度が低下傾向にある。大気に含まれるガス検出に対しては、非分散赤外吸収法を利用して高精度計測が行われているが、水蒸気に対しては中赤外域では吸収が大きく、実用化がされていないのが現状である。また、低湿環境の管理において、湿度の計測は非常に重要視されており簡便な湿度計測法が多岐に渡って求められている。_x000D_ そこで、本研究ではテラヘルツ波を用いた高精度な湿度測定の可能性があるか検討する。

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