圧力測定用プラズモニックデバイス作製時における最適化技術の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-P2-20

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 阿久澤 賢(近畿大学), 松谷 貴臣(近畿大学), 村井 健介(産業技術総合研究所 関西センター)

キーワード: プラズモン|真空蒸着光学式圧力センサ

要約(日本語): 金属層-絶縁層―金属層(MIM)構造を用いた光学式圧力センサデバイスを開発している。本デバイスに白色光を照射すると、プラズモンにより特定波長の光が吸収される。この吸収ピーク値はI層の膜厚に起因しており、加圧による膜厚変化によって生じる吸収ピークの変化によってセンシングしている。その吸収強度は、M層及びI層の均一性・平行度に依存している。従来、MIM構造形成後に吸収波長および吸収強度を確認していたが、平行度の高いI層を得ることが極めて困難であった。本研究では、I層形成時に平行度を調整しながら吸収強度のその場観察を行える作製手法を開発し、吸収強度の高いデバイスを効率よく作製することを可能とした。

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