【招待講演】シリコンMEMSを用いた赤外線分光センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-A-a1-2

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 菅 哲朗(電気通信大学)

キーワード: Surface plasmon|Schottky barrier|Infrared spectrometer|MEMS

要約(日本語): シリコンは単体では赤外線に対する感度を有しないが、金属とシリコンの界面に生じるショットキー界面がサブバンドギャップの障壁を生成することを利用すると、赤外線の検出が可能となる。さらに、金属膜に表面プラズモン共鳴を生じるマイクロナノ構造を付与することで、特定の波長・偏光に対して反応可能なシリコン製の光ディテクタが実現できる。この機能を利用した、MEMS赤外線分光センサなどの研究展開について報告する。

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