【招待講演】高感度・高ダイナミックレンジを実現する集積化ハイブリッドMEMS水素センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-A-a1-4

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 林 裕美(東芝 研究開発センター)

キーワード: 水素センサ|容量型|高ダイナミックレンジ|熱伝導型|低消費電力|PdCuSi金属ガラス

要約(日本語): 本発表では、5 ppmから100 vol%までの水素を検知可能な集積化ハイブリッドMEMS水素センサについて報告する。このセンサは単一チップ上に容量型と熱伝導型の2つの水素センサを搭載しており、これらは同一プラットフォームで一括形成することができる。容量型はヒーターフリーで5 ppmの微量水素を検出でき、熱伝導型は数十mWの低消費電力で高濃度水素の濃度算出ができる。さらに、容量型は高いガス選択性能を示す。よって、集積化ハイブリッドMEMS 水素センサは高感度・高ダイナミックレンジを実現し、小型かつ低消費電力で高いガス選択性能を示す有望な水素センサである。

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