【招待講演】医療用超音波プローブへのMEMS応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-A-a1-5

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 田中 宏樹(富士フイルム)

キーワード: MEMS|Ultrasound|Medical|CMUT|Imaging|Metamaterial

要約(日本語): 医療用超音波は画像診断装置の中でも,可搬性,小型性,リアルタイム性に優れており,すでに多くの臨床現場で利用されている。超音波プローブは,PZTに代表される圧電セラミクス,複合材(コンポジット),圧電単結晶の進歩により一定の到達点を迎えた。しかし,90年代ごろからは従来のバルク材振動子の性能限界を超えうるものとしてCMUT(Capacitive Micromachined Ultrasound Transducer)やPMUT(Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer)など半導体MEMS技術を用いた微細な薄膜型振動子の研究が進み,2010年台には実用化フェーズに入った。本発表では,CMUTの実用化技術を中心に紹介する。

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