【招待講演】カーボンナノチューブとフッ素化ポリイミドを用いた超高速・安定動作する容量式湿度センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-A-a1-9

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 伊東 栄次(信州大学)

キーワード: カーボンナノチューブ|ポリイミド|フッ素化|容量式湿度センサ|界面|

要約(日本語): 本研究では、ガス透過性と疎水性に優れた多層カーボンナノチューブを上部電極とした縦型の容量式ポリイミド湿度センサの高速化と安定動作について検討した。_x000D_ フッ素含有ポリイミド膜を感湿膜として、感湿膜を薄くすると高速化に有利であるが100nm程度に薄くすると下部電極や基板への吸着水分子による不安定動作や感度の異常が見られた。そこで、フッ素化ポリマーのCytop極薄膜やフッ素含有量が異なるポリイミドを導入することで異常応答の抑制と高速動作を実現した。

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