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【招待講演】ブレードコート法を用いた有機半導体の製膜とその課題
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 3-E-a1-2
グループ名: 【A】令和6年電気学会基礎・材料・共通部門大会
発行日: 2024/08/26
著者名: 藤井 彰彦(大阪工業大学)
キーワード: 有機エレクトロニクス|有機半導体|塗布製膜|有機トランジスタ|有機太陽電池|π共役分子・高分子
要約(日本語): 有機半導体材料には塗布製膜可能な材料が多く、薄膜デバイス応用が盛んに検討されている。特に、トランジスタや太陽電池応用では微細構造・大面積製造を視野にいれた製膜プロセスも合わせて検討が必要であり、製膜材料の性質とブレードコートなどの一軸掃引型の溶液塗布機構との関係は非常に興味深い。その製膜においては、溶媒種、溶液濃度、基板温度、製膜速度などパラメータが多数存在するが、的確に選択することで膜厚制御や膜質改善ができる。本発表ではその基本的技術であるブレードコート法での取り組みと課題について報告する。
PDFファイルサイズ: 310 Kバイト
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