【招待講演】スパッタ堆積AlN膜のFace-to-Faceアニールによる高品質AlNテンプレート作製とその深紫外LED応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-F-a1-2

グループ名: 【A】令和６年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日: 2024/08/26

著者名: 三宅 秀人(三重大学)

キーワード: AlN|AlGaN|anneal|LED|deep ultraviolet|

PDFファイルサイズ: 345 Kバイト