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プラズマフォーカス装置におけるプラズマシートとプラズマ柱およびイオンビーム特性との関係

プラズマフォーカス装置におけるプラズマシートとプラズマ柱およびイオンビーム特性との関係

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カテゴリ:部門大会

論文No:3-P1-20

グループ名:【A】令和7年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日:2025/8/27

タイトル(英語):

著者名:勝山 智哉(富山大学),須藤 雛子(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学),竹崎 太智(富山大学)

著者名(英語):

キーワード:パルスパワー,プラズマフォーカス,Zピンチ,イオンビーム,イオン源

要約(日本語):近年、イオンビームを生成するイオン源は半導体製造におけるイオン注入、がん治療・質量分析といった医療分野、核融合におけるプラズマ加熱など様々な分野で応用されている。本研究では、比較的構造が簡素なプラズマフォーカス(PF)装置のイオン源としての応用を目指している。しかし、PF装置でのイオンビーム過程や最適化について研究がおこなわれてきたが、完全には解明されておらず未解明な点もある。先行研究では、PF装置の封入ガス圧や電極形状がイオンビーム特性に影響することを示されている。そこで本研究では封入ガス圧や電極形状によるプラズマ柱の形成過程をシャドウグラフ法により観測し、イオンビーム特性との相関について発表する。

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