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LIFT法により作製したネオジム系マイクロ磁石の保磁力とレーザエネルギー密度の関係
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カテゴリ:部門大会
論文No:3-P1-22
グループ名:【A】令和7年電気学会基礎・材料・共通部門大会
発行日:2025/8/27
タイトル(英語):
著者名:田原 楽飛(長崎大学),網屋 拓輝(長崎大学),轟木 捷斗(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学) 福永 博俊(長崎大学)
著者名(英語):
キーワード:LIFT法,マイクロ磁石,マルチドット,保磁力,レーザエネルギー密度
要約(日本語):本研究室ではPLD法により数10 μm厚以上のマイクロ磁石を作製してきたが,硬磁気特性を得るには,基板加熱やポストアニーリングにより500 ℃以上の高温熱処理が必要であった。最近,我々は熱処理を必要とせず数100 kA/mの保磁力を持つマイクロ磁石(マルチドット)をLIFT法(レーザー誘起前方転写法)で作製できることを見出した。本稿では,レーザのエネルギー密度が保磁力に及ぼす影響を系統的に検討したので報告する。
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