PLD法を用いて作製したFe-Pt系積層磁石薄帯の磁気特性と剥離条件

カテゴリ：部門大会

論文No：3-P1-24

グループ名：【A】令和７年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日：2025/8/27

タイトル(英語)：

著者名：岡村 和哉(長崎大学)，藤井 康平(長崎大学)，山下 昂洋(長崎大学)，柳井 武志(長崎大学)，中野 正基(長崎大学)，福永 博俊(長崎大学)，進士 忠彦(東京科学大学)

著者名(英語)：

キーワード：PLD法,Fe-Pt系磁石,積層磁石薄帯,剥離現象

要約(日本語)：我々は,熱酸化膜付きSi基板上にPLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い成膜したFe-Pt系磁石膜が剥離しやすい現象を利用して,Fe-Pt系磁石薄帯の作製法を実現してきた。本研究では,希土類系磁石膜をFe-Pt系磁石膜で挟み込むFe-Pt/Pr-Fe-B/Fe-Pt系積層磁石薄帯の開発に向けて作製条件を検討すると共に,磁気特性向上も図ったので報告する。

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