対向発散磁界下誘導結合プラズマ中における電子エネルギー利得波形のk平均法クラスタリングによる解析

カテゴリ：部門大会

論文No：4-B-a2-3

グループ名：【A】令和７年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日：2025/8/27

タイトル(英語)：

著者名：岡崎 凌大(北海道大学)，菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語)：

キーワード：誘導結合磁化プラズマ,共鳴磁界域,電子エネルギー利得,部分共鳴,モンテカルロシミュレーション

要約(日本語)：対向発散磁界下の誘導結合プラズマでは共鳴域で電子加熱が生じ易い部分共鳴現象が観察される。先行研究では共鳴域内外の電子加熱がどう時間変化するかに着目し電子エネルギー利得(EEG)の電界応答を観察した。電界前後各半周期のEEGのピークが異なる非対称性が現れた。この非対称性の依存性がどう特徴づけられるか,EEG波形をk平均法でクラスタリングすることで調査した。その結果EEG波形は,分界面と等磁界強度線が波形の特徴づけの指標となることが観察された。共鳴磁界強度よりも磁界が強いと,応答は速いがEEGのピークが前後半周期で異なる非対称波形となり,分界面下部領域では正弦波様の対称的なEEG波形だった。

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