真空アーク陰極点の移動制御に向けた磁界印加手法の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 322

グループ名: 【B】令和2年電気学会電力・エネルギー部門大会

発行日: 2020/08/28

タイトル(英語): Examination of Magnetic Field Application Method for Movement Control of Vacuum Arc Cathode Spot

著者名: 竹田悠莉子（東京都市大学），金城タングたけひで（東京都市大学），島﨑将至（東京都市大学），河内皓暉（東京都市大学），髙木真宏（東京都市大学），任振威（東京都市大学），根本雄介（東京都市大学），真栄田義史（東京都市大学），岩尾徹（東京都市大学）

著者名(英語): Takeda Yuriko (Tokyo city university), Kanashiro Tang Takehide (Tokyo city university), Shimazaki Masashi (Tokyo city university), Kouchi Hiroki (Tokyo city university), Takagi Masahiro (Tokyo city university), Zhenwei Ren (Tokyo city university), Nemoto Yusuke (Tokyo city university), Maeda Yoshifumi (Tokyo city university), Iwao Toru (Tokyo city university)

キーワード: アーク放電|陰極点|酸化膜除去|画像処理|プラズマ|3R|Arc discharge|Cathode spot|Oxide layer removal|Image processing|plasma|3R

要約(日本語): 真空アークを用いた表面処理技術は，二次廃棄物を最小限に留められることから着目されている技術である。真空アークが発弧すると，陰極表面上に高温な陰極点が複数生じ，これを用いることで，酸化膜などの付着物を除去することができる。しかし，陰極点は陰極表面上を不規則に動いてしまうため，処理後の表面粗さが不均一になるや，酸化膜が残るなどの課題があり，陰極点の移動制御が求められている。本論文では，真空アークが荷電粒子で構成されていることに着目し，真空アーク陰極点の移動制御に向けた磁界印加手法の検討を行った。結果としては，矩形波とパルス波の磁界を制御し印加することで，陰極点の移動を制御することが可能となった。

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