３次元電磁熱流体シミュレーションを用いたアークランプにおける電流が及ぼす放射分布の解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 357

グループ名: 【B】令和4年電気学会電力・エネルギー部門大会

発行日: 2022/08/26

タイトル(英語): Analysis of Radiation Distribution as a Function of Arc Current in Arc Lamps Using Three-Dimensional Electromagnetic Thermo-Fluid Simulation

著者名: 南澤知正（東京都市大学），工藤大征（東京都市大学），鈴木裕斗（東京都市大学），鈴木祐揮（東京都市大学），任振威（東京都市大学），根本雄介（東京都市大学），岩尾徹（東京都市大学）

著者名(英語): Kazumasa Minamisawa (Tokyo City University), Kudo Taisei (Tokyo City University), Hiroto Suzuki (Tokyo City University), Suzuki Yuki (Tokyo City University), Ren Zhenwei (Tokyo City University), Nemoto Yusuke (Tokyo City University), Iwao Toru (Tokyo City University)

キーワード: アークランプ|放射|波長|３次元電磁熱流体シミュレーション|Arc lamp,|radiation|wavelength|Three-Dimensional Electromagnetic Thermo-Fluid Simulation

要約(日本語): アークランプは，電極間でアーク放電を発生させ高輝度かつ高演色性の光を発生させるランプである。この特徴を生かして産業用光源として半導体の熱処理の過程などで用いられており，材料の結晶性回復を目的として用いられる。結晶性回復において熱処理をする層の拡散制御をすることが求められており，半導体をより薄く作成するためには熱拡散が少なく短時間での熱処理が求められている。このためアークランプにおいては，短い時間での時間変化に伴う放射量の変化や波長ごとの放射量の算出と実際の制御が必要である。本論文では，放射を紫外線，可視光線，赤外線の各領域に分け解析を行い，可視光の放射パワーは75Aで最大となった。

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