サプライヤとユーザの協力による制御技術教育

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC4-4

グループ名: 【C】2022年電気学会電子・情報・システム部門大会

発行日: 2022/08/24

タイトル(英語): Education of Control Technology by Cooperation of Supplier and User

著者名: 田中 雅人（アズビル）,星野 栄一（日本半導体製造装置協会）,福川 幸司（アルバック）,古水戸 順介（芝浦メカトロニクス）,鳥越 恒男（荏原製作所）,守屋 剛（東京エレクトロン）

著者名(英語): Masato Tanaka (Azbil Corporation),Eiichi Hoshino (Semiconductor Equipment Association of Japan),Kouji Fukugawa (ULVAC, Inc.),Junsuke Komito (SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION),Tsuneo Torikoshi (EBARA CORPORATION),Tsuyoshi Moriya (Tokyo Electron Limited)

キーワード: 制御|教育|サプライヤ|ユーザ|control|education|supplier|user

要約(日本語): 本発表は，IoTやAIなどのメガトレンドにおける半導体製造装置の制御技術の変革に関する考察を示すものである。装置メーカにとって，装置稼働時のデータの所有権は制約されるのが実状である。しかし，装置メーカ側は，計測制御機器サプライヤとのコンタクトがあり，計測制御技術の専門的な知識や知見を所有する側になる。したがって，装置メーカと計測制御機器サプライヤの知識共有は，両者にとって重要な課題になる。