銅フタロシアニンを用いた低濃度酸化性ガスセンサの脱離特性に対する光学的検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: PS5-1

グループ名: 【C】2023年電気学会電子・情報・システム部門大会

発行日: 2023/08/23

タイトル(英語): Optical Study on Desorption Characteristics of Low-Concentration Oxidizing-Gas Sensor Using Copper Phthalocyanine

著者名: 梶山 晴生（日本大学）,佐伯 勝敏（日本大学）

著者名(英語): Haruki Kajiyama (Graduate School of Nihon University),katsutoshi Saeki (NIhon University)

キーワード: ガスセンサ|光|銅フタロシアニン|二酸化窒素|脱離特性|Gas Sensor|Light|Copper Phthalocyanine|NO2|Desorption Characteristics

要約(日本語): 近年，室温でNO₂やSO₂といった有毒なガスの濃度を高感度かつ選択的に測定できる銅フタロシアニン(CuPc)を用いた低濃度酸化性ガスセンサが注目されている．このセンサは，ガス濃度により変化する抵抗値によってガス濃度を測定し，外部から熱を加えることによってガス分子の脱離が可能である．ただし，脱離を短時間で行うためには高い熱を加える必要があり，半導体チップなどを用いた熱に影響を受ける素子への応用が難しいといった課題がある。また，CuPc薄膜はp型半導体と同様の性質を持っており，ガスセンサは光によって抵抗値が減少することを先の研究により明らかにしている．本研究ではこの効果に着目し，ガスばく露中のセンサに光を照射した際の抵抗値の遷移について検討を行った．その結果，光によりガス分子によるセンサへの影響を減らし，脱離時間を短縮できることを明らかにした．