積層型圧電素子を用いた浮上機構の音圧測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: PS7-15

グループ名: 【C】2024年電気学会電子・情報・システム部門大会

発行日: 2024/08/28

タイトル(英語): Sound Pressure and Frequency of Levitation Actuator Using Stacked Piezoelectric Element

著者名: 宮田 英寿（愛知工業大学）,大口 大輝（愛知工業大学）,酒井 空士（愛知工業大学）,鳥井 昭宏（愛知工業大学）,元谷 卓（愛知工業大学）,道木 加絵（愛知工業大学）

著者名(英語): Hidetoshi Miyata (Aichi Institute of Technology),Daiki Oguchi (Aichi Institute of Technology),Takato Sakai (Aichi Institute of Technology),Akihiro Torii (Aichi Institute of Technology),Suguru Mototani (Aichi Institute of Technology),kae Doki (Aichi Institute of Technology)

キーワード: 圧電素子|スクイーズ膜効果|浮上機構|音圧|piezoelectric element|squeeze effect|levitaion actuator|sound pressure

要約(日本語): 筆者らは、圧電素子を用いて浮上しながら移動が可能な位置決め機構の開発を進めている。圧電素子を用いることで、小型化・精密動作が可能な機構が実現できる。浮上機構は小型位置決め機構に搭載することで、移動時の摩擦による移動量や位置決め誤差の軽減が期待できる。浮上機構は、床面との間に発生するスクイーズ膜効果を用いて浮上する。現在、浮上機構の浮上量はレーザ変位計によって浮上量の測定している。しかし、浮上量は浮上機構の上部から測定しているため、移動する際に浮上量の測定に差異が生じる。また、浮上機構は10kHz付近の駆動周波数で動作し、駆動音を発生させながら浮上する。本稿では、浮上機構が駆動時の発生音をマイクで取得することで、浮上時・非浮上時の音圧・浮上量の関係を明らかにした。