静電気を応用した半導体デバイスおよび透明導電膜の成膜技術

カテゴリ：部門大会

論文No：TC9-5

グループ名：【C】2025年電気学会電子・情報・システム部門大会

発行日：2025/8/20

タイトル(英語)：Fabrication Technique for Semiconductor Devices and Transparent Conductive Films Using Applied Electrostatics

著者名：江頭 雅之（公立諏訪東京理科大学）,篠田 佳依（公立諏訪東京理科大学）,蜂須賀 蓮悠（公立諏訪東京理科大学）,北垣 城杏里（公立諏訪東京理科大学）,根岸 純真（公立諏訪東京理科大学）,渡邊 康之（公立諏訪東京理科大学）

著者名(英語)： Masayuki Egashira (Suwa University of Science),Kai Shinoda (Suwa University of Science),Renyu Hachisuka (Suwa University of Science),Kiari Kitagaki (Suwa University of Science),Junma Negishi (Suwa University of Science),Yasuyuki Watanabe (Suwa University of Science)

キーワード：静電噴霧法,有機薄膜太陽電池,光触媒,透明電極,CNT,Electrospray,Organic Photovoltaics,Photocatalyst,Transparent Electrodes,CNT

要約(日本語)：有機薄膜太陽電池（OPV）の活性層はドナーとアクセプタが混合したバルクヘテロ構造を有し、電荷の取り出し効率向上には界面制御が重要である。またカーボンナノチューブ（CNT）などのナノワイヤを用いた透明電極は成膜時に細孔が生じる。薄膜内部の細孔は光の散乱や透過、CNTの接触面積の増加にも関わり、CNT透明導電膜の透過率と導電率も変化すると考えられるが、細孔容量と導電率、透過率の関係を詳細に調査した研究はない。従って活性層の界面やCNT薄膜の細孔容量の制御には液体プロセスによる構造制御が重要である。従って本研究では、nm～µmオーダーの帯電液滴を放出する静電噴霧法により構造を制御を目指し研究を行ったので、その結果について述べる。また酸化チタンを用いた銅担持光触媒において、銅の酸化状態がバンド構造とVOC分解能力に与える影響を解明すべく研究を行っており、その途中経過も報告する。

本誌掲載ページ：394-398p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：1,008Kバイト