In-situ測定による有機薄膜成長初期過程の解析

カテゴリ：部門大会

論文No：TC9-7

グループ名：【C】2025年電気学会電子・情報・システム部門大会

発行日：2025/8/20

タイトル(英語)：In-situ Analysis of the Initial Growth Process of Organic Thin Films

著者名：松原 亮介（静岡大学）,久保野 敦史（静岡大学）

著者名(英語)： Ryosuke Matsubara (Shizuoka University),Atsushi Kubono (Shizuoka University)

キーワード：有機薄膜,in-situ解析,水晶振動子マイクロバランス,微小角入射X線回折,organic thin films,in-situ analysis,quartz crystal microbalance,grazing incidence x-ray diffraction

要約(日本語)：有機半導体デバイスの特性は、薄膜中の分子配向や凝集構造といった高次構造に大きく依存する。薄膜の成長は一般に、吸着、拡散、脱離といった一連の素過程を経て安定核が形成され、成膜が進行するため、高次構造を精密に制御するには成長初期過程の理解が不可欠である。我々はこれらの素過程を解明することを目的に、複数のin-situ測定手法を組み合わせて薄膜成長過程を評価してきた。本講演では、水晶振動子マイクロバランス（QCM）と二次元X線回折（2D-GIXD）を用いた有機薄膜成長のin-situ測定について紹介する。

本誌掲載ページ：400-403p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：656Kバイト