半導体製造装置の業界構造に伴う温度制御技術

カテゴリ：部門大会

論文No：TC10-1

グループ名：【C】2025年電気学会電子・情報・システム部門大会

発行日：2025/8/20

タイトル(英語)：Temperature Control Technology of Semiconductor Manufacturing Equipment in Industry Structure

著者名：田中 雅人（アズビル株式会社）

著者名(英語)： Masato Tanaka (Azbil Corporation)

キーワード：制御技術,半導体製造装置,業界構造業界構造,control technology,semiconductor manufacturing equipment,industry structure

要約(日本語)：IoTやAIというメガトレンドに鑑み，半導体製造装置の業界構造と温度制御技術の関連性について考察する。製造装置メーカや制御機器メーカにとっては，装置稼働状態で収集されるデータ所有権には限界がある。しかし，制御機器メーカは制御理論の知見保有者であり，理論的なアプローチによる制御系のモデリングは実行できる立場にある。その意味でも、制御系のモデルベース開発の協働が重要課題になる。

本誌掲載ページ：405-411p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：705Kバイト