サブサーフェス磁気イメージングシステムによるSiC-DMOSFETの観測

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-49

グループ名: 【D】2021年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2021/08/18

タイトル(英語): Application of subsurface magnetic imaging system to SiC-DMOSFET

著者名: 長嶋 一真（千葉工業大学）,角 真輝（千葉工業大学）,佐藤 宜夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Kazusana Nagashima (Chiba Institute of Technology),Masaki Sumi (Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh (Chiba Institute of Technology)

キーワード: SiC-DMOSFET|電気経路可視化|非破壊解析|SiC-DMOSFET|Visualization of electrical paths|Non-destructive analysis

PDFファイルサイズ: 1,085 Kバイト