柔軟構造物に対する精密ステージの相対位置決め制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S4-2

グループ名: 【D】2022年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2022/08/30

タイトル(英語): Relative positioning control of flexible structure for precise positioning stage

著者名: 小川 博紀（日立製作所）

著者名(英語): Hironori Ogawa (Hitachi, Ltd.)

キーワード: 位置決め制御|相対位置決め|精密位置決めステージ|柔軟構造物|Positioning control|Relative positioning|Precise positioning stage|Flexible structure

PDFファイルサイズ: 870 Kバイト