圧電アクチュエータを用いたマイクロマニピュレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S12-4

グループ名: 【D】2022年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2022/08/30

タイトル(英語): Micromanipulation Technologies Using Piezoelectric Actuators

著者名: 関 健太（名古屋工業大学）

著者名(英語): Kenta Seki (Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 圧電アクチュエータ|位置制御|力制御|ひずみ信号|piezoelectric actuator|position control|force control|strain signal

PDFファイルサイズ: 1,074 Kバイト