FM-AFM/KFM/SCFMによるSiC製プレーナ型パワーMOSFETのナノスケール観測

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-21

グループ名: 【D】2022年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2022/08/30

タイトル(英語): Nanoscale Observation of SiC Planar Power MOSFET by the FM-AFM/KFM/SCFM

著者名: 増田 匠（千葉工業大学）,土井 敦史（千葉工業大学）,山本 秀和（千葉工業大学）,佐藤 宣夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Takumi Masuda (Chiba Institute of Technology),Atsushi Doi (Chiba Institute of Technology),Hidekazu Yamamoto (Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh (Chiba Institute of Technology)

キーワード: 走査型プローブ顕微鏡|Scanning probe microscope

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